日 時：2009年11月14日（土）13：30-18：30
場 所：東京工業大学南７号館２階201講義室
講 演：
- 安達信泰先生 名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センター
タイトル：高周波電磁界観察用の磁性ガーネット結晶の作製
概 要：高周波磁界観察用プローブのあらたな磁性ガーネット作製方法と磁 界観察
の現状について紹介する。
- 原 亨先生 太陽誘電開発研究所技術企画統括部（東京工業大学理工学研究科材料工学専攻）
タイトル：ペロブスカイト誘電体薄膜を用いたガスセンサ
概 要：ペロブスカイト誘電体薄膜を用いた酸素センサは、従来の酸化物半導体を
用いたガスセンサよりも高い酸素感受性を示す。 現在までの酸素センサ
研究の進展と、今後のバイオエアロゾルセンサ研究の展望を述べる。
- 佐伯 淳先生 富山大学理工学研究部ナノ・新機能材料学域
タイトル：Al-O-N膜の構造と特性に及ぼすスパッタ条件の影響
概 要：対向ターゲット式マグネトロンスパッタ装置により作製したAlON薄膜の堅
さやヤング率が成膜条件の違いによって変化した結果を紹介する。またこ
れ別にTa系の材料 においてスパッタ膜を反応促進のための原料としてもち
いた例についても紹介する。
- 中川茂樹先生 東京工業大学理工学研究科電子物理工学専攻
演 題：垂直磁化MRAM用の応力アシスト磁化反転
概 要：磁歪定数の大きな垂直磁化膜を利用して、応力誘起の磁気異方性を利用して
垂直磁化容易膜を面内磁化容易状態に変えることができることを確認し、磁
化反転を保磁力以下で行えることを確認した。将来のスピン注入型磁化反転
機構を導入する際のアシスト機構としての評価を試みている。
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